Kao što svi znamo, postoji samo jedan proizvođač na svijetu koji može proizvesti EUV litografiju, a to jeNizozemski ASML.
Razlog zašto postoji samo jedan proizvođač na svijetu je taj što je ASML povezao mnoge ključne proizvođače, kao što su Zeiss (Zeiss), njemačka kompanija za optiku, Cymer (SAD) iTRUMPF (Njemačka).
ASML je ove proizvođače vezao za svoju kočiju kroz ulaganja, akviziciju, dioničarstvo, osnivanje istraživačkih centara i tako dalje, a ovi proizvođači su vjerovatno jedini proizvođači na svijetu koji mogu proizvoditi ove proizvode, tako da na kraju samo ASML na svijetu može proizvodi EUV litografiju.
Međutim, nedavno je ključni lanac nabavke ASML-a otrčao u Shenzhen u Kini kako bi izgradio tvornicu, a njegova podružnica u Shenzhenu smještena je u Baoan kinesko-njemačkom (Evropskom) industrijskom demonstracijskom parku.
Ovaj proizvođač je njemačka TRUMPF grupa (TRUMPF), to je ASML-ova EUV litografija, jedini svjetski dobavljač laserskih izvora.
TRUMPF proizvodi u EUV litografiji, koliko su važni? Prvo me saslušajte kako objašnjavam princip EUV litografije, razumjet ćete.
Princip EUV litografije, pojednostavljeno rečeno, usredsređen je na tri glavna sistema, EUV sistem izvora ultraljubičastog svetla, sistem objektivnih ogledala i sistem stolova.
Specifičan proces je korištenje lasera za pobuđivanje talasne dužine od 13,5 nm ekstremne ultraljubičaste svjetlosti, koja se zatim korigira da formira kontrolirani snop svjetlosti, koji se zatim projektuje na sto za fotomasku prije nego što se projektuje kroz objektivno ogledalo na stol za ekspoziciju. i konačno urezan u kolo na silikonskoj pločici obloženoj fotorezistom.
Kako se dobija jedan od EUV UV sistema izvora svetlosti bombardovanjem kalajne (Sn) metalne kapljice CO2 laserom snage 30 kW, isparavanjem u plazmu i konačno dobijanjem EUV svetlosti na talasnoj dužini od 13,5 nm.
Ovaj CO2 laser od 30 kW isporučuje TRUMPF, jedini na svijetu.
Ne potcenjujte ovaj CO2 laser, ima 457.329 delova, dužina kabla u sistemu je do 7.322 metra, a težina 17.090 kg, što je jedna od najvažnijih komponenti jezgra u EUV litografiji.
Sada je TRUMPF otrčao u Kinu da izgradi tvornicu, namjera je jasna, odnosno optimističan u pogledu kineskog tržišta lasera, a još više dugoročno gleda, optimističan u pogledu kineskog tržišta litografije, budućnost može sarađivati s Kinom na izgradnji EUV litografije .
U stvari, već postoji više od jednog ASML lanca snabdevanja koji ide u Kinu da bi izgradio fabriku, postoje KMWE i drugi proizvođači, takođe u Kinu da grade fabriku.
U skladu sa trenutnim trendom, možemo optimistično očekivati da neće proći mnogo vremena prije nego što će kineska tehnologija litografije biti veliki korak naprijed, pa čak i obim izlazne EUV litografije, također se može radovati, što mislite?
